Caratteristiche

· Dispositivo di lucidatura di precisione per una lucidatura accurata di wafer/substrato e assottigliamento del retro

· Vite di controllo dello spessore con risoluzione di 0,005 mm per limitare l'asportazione di materiale

· Questo dispositivo di lucidatura può essere compatibile con Unipol 1202 e 1502 e qualsiasi lucidatrice di precisione da 12" o più grande con supporto a giogo per ottenere lucidatura o lappatura automatica

· La lega di tungsteno super dura è saldata sul fondo della maschera per una lucidatura resistente

· Spessore massimo del campione: 13 mm

· Distanza massima di spostamento: 14 mm

Portacampioni Mandrino a vuoto

· La dimensione massima di un wafer o substrato è 4"

· Se lo spessore del campione è maggiore di 0,15 mm, adottare l'assorbimento del vuoto. Se lo spessore è inferiore a 0,15 mm, utilizzare la cera

Micrometro digitale

· È incluso un micrometro digitale con una risoluzione di +/- 1 micron per una lappatura più accurata.

Indicatore di pressione

· È inclusa una bilancia digitale per misurare il peso dell'attrezzatura (pressione)

· Il peso può essere regolato tramite viti durante la misurazione sulla bilancia digitale da 1 ga 2000 g.

Assorbimento e filtro del vuoto

· Richiede una pompa a vuoto con una portata 70 L/min.

· Per proteggere la pompa del vuoto da umidità e liquidi, collegare il filtro tra l'apparecchio e la pompa

Dimensione

OD: 146 mm; Altezza: 266mm

Accessori opzionali

È necessaria una pompa per vuoto per l'assorbimento del vuoto, da ordinare separatamente.