Sistema CVD con forno tubolare a zona singola Lab 1200C

Il sistema CVD è costituito da sistema di alimentazione del gas + forno tubolare + sistema di vuoto e la temperatura massima può raggiungere 1200 gradi , 1400 gradi, 1600 gradi e 1700 gradi. La zona di riscaldamento può essere una zona a temperatura singola, una zona a doppia temperatura, una zona a tre temperature, ecc. Il vuoto finale può raggiungere 10-3Pa. Il sistema di alimentazione del gas può essere un flussometro massico o un flussometro a galleggiante per la regolazione del flusso. Il numero di canali di mixaggio può essere 2 canali, 3 canali, 4 canali e 5 canali.

Parametri tecnici dettagliati del forno tubolare

Tipo	1200-I	1200-II	1200-III	1200 V	1200-VI	1200-VII
Potenza	3,5KW	3,5KW	3,5KW	5KW	6KW	7KW
Dimensioni del tuboï¼OD (mm)	Diametro 60 X1000	Dia80X1000	Dia100X1000	Diametro150X1000	Diametro200X1000	Diametro250X1000
Dimensioni	1140X450X690	1140X450X690	1140X450X690	1110X530X755	1120X580X805	1314X680X905
Tensione di alimentazione	220 V
Fase	Monofase
Elemento riscaldante	Cavo di resistenza
Controllo della temperatura	Controllo della temperatura del programma UAV strumento (standard) 1 temperatura del programma a 30 livelli controllare la regolazione PID intelligente. 2. Con protezione da sovratemperatura, il circuito di riscaldamento del forno elettrico viene automaticamente escluso quando il la temperatura è eccessiva o rotta (quando il forno elettrico la temperatura supera i 1200 gradi o la termocoppia è bruciata, il relè CA sul circuito principale verrà automaticamente disconnesso, il circuito principale lo è rotto. Acceso, la spia ON sul pannello è spenta, la spia OFF è accesa e il forno elettrico a protezione limitata). 3, con interfaccia di comunicazione 485 (standard quando si acquista software) 4, con protezione dallo spegnimento funzione, cioè quando l'alimentazione viene accesa dopo che l'alimentazione è stata spenta, il programma non parte dalla temperatura di partenza, ma dal forno la temperatura aumenta dal momento dell'interruzione di corrente. 5, il il misuratore ha la funzione di autoregolazione della temperatura (devi pagare un extra la sostituzione degli strumenti importati, facoltativa) Regolatore di temperatura FP93 (shimashima, Giappone) Strumento EUROPEO Strumento touch screen
Materiale della camera	1. Forno per polimerizzazione di fibre policristalline di allumina di elevata purezza di alta qualità formato mediante filtrazione con aspirazione sotto vuoto. 2. Formato dalla tecnologia giapponese. 3. La spaziatura e il passo della resistenza i fili nel forno sono tutti disposti secondo la migliore termica tecnologia in Giappone e il campo di temperatura è simulato dal termico software.
Valvola e flangia
Vista dall'alto 60/80/100
Calibrazione della temperatura (facoltativo)	Regolare la calibrazione della temperatura del forno tubolare mantiene la precisione e uniformità della temperatura del forno. È possibile acquistare una semplice calibrazione strumento dell'azienda per assistervi in ​​questo lavoro. La calibrazione completa il kit include un calibratore di temperatura termocoppia standard di tipo S.
Precisione del controllo	+/- 1â
Attiva	Spostato di fase grilletto
Apparecchio elettrico	Zhejiang Chint
Controllato dal silicio	106/16ESEMIKRON
Temperatura massima	1200â
Temperatura nominale	1150â
Velocità di riscaldamento	â¤30â/Min(it può essere modificato secondo necessità)
Tasso consigliato di aumento della temperatura	â¤15 â/Min
Tipo di termocoppia	Tipo K
Lunghezza riscaldamento	400-440 mm
Lunghezza temperatura costante	150 mm
Curva del campo di temperatura
Temperatura superficiale periferica	â¤45â
Protezione coperchio aperto sistema	Quando il coperchio del forno è aperto, il relè interromperà automaticamente l'alimentazione principale, garantendo efficacemente la sicurezza dell'utente.

VS-0.1 Sistema di vuoto (VRD16)

Il sistema (può pompare il vuoto nel forno tubolare fino a 0,6Pa) è costituito da una flangia di aspirazione (autocostruito) con interfaccia KF25, metodo deflettore per alto vuoto, vuoto a resistenza manometro, soffietto, staffa (fatta in casa), pompa a vuoto Collegare il tubo a T al uscita della flangia, collegare la resistenza in silicone ad un'estremità del tubo a tre vie, collegare la valvola a cerniera per alto vuoto all'altra estremità, collegare la valvola a cerniera valvola e la pompa del vuoto con l'ondulazione del Dia25 e utilizzare il KF25 rapido morsetto per la porta di connessione. .

1. Sistema di rilevamento della pressione

Resistenza singola tipo ZDR-I/ZDR-I-LED vacuometro

Il vacuometro a resistenza (noto anche come vacuometro Pirani) utilizza uno ZJ-52T appositamente stabilizzato indicatore di resistenza e applica una nuova modalità di funzionamento a temperatura costante al potenza costante. Allo stesso tempo, il microprocessore viene utilizzato per controllare il non linearità della regolazione. Elaborazione lineare. Ha le caratteristiche di prestazioni stabili, ampio campo di misura, risposta rapida e piccola deriva. E controllo relè potente e affidabile basato su microprocessore, comunicazione seriale uscita, uscita analogica del vuoto e altre funzioni. Particolarmente adatto per misurazione del vuoto approssimativo e basso e controllo delle applicazioni del vuoto.

2. Parametri tecnici:

* Regolazione della distribuzione: misuratore di resistenza ZJ-52T

* Campo di misura: 10 5ï½10 -1 Pa

* Numero di misurazioni: 1 via

* Numero di canali di controllo: 2 strade possono essere estese a 4 o 8 strade

* Campo di controllo: 5 Ã 10 3 ~ 5 Ã 10 -1 Pa

* Modalità di controllo: uscita contatto relè, capacità di carico AC220V/3A (o DC28V/3A) non induttivo caricare

* Alimentazione: 90-260 V/50 Hz o 220 V ± 10% 50 Hz

* Consumo energetico: 25 W

* Peso: 4Kg/3Kg/0,5Kg (a seconda del telaio)

* Dimensioni telaio: 240 Ã 88 Ã 280 oppure 265 Ã 119 Ã 280 oppure 96 Ã 96 Ã 120

480 à 88 à 280 oppure 480 à 119 à 280 (larghezza à altezza à profondità)

3. Caratteristiche prestazionali:

*LED display digitale a schermo verde.

* Ampia gamma di sondaggi stellari

* Velocità di risposta rapida

* La correzione del microcomputer regola la non linearità e riduce gli errori di misurazione.

* Isolamento ottico, filtraggio digitale, capacità anti-interferenza migliorata.

* Pannello colorato in PVC, bell'aspetto.

* Uscita di controllo del punto o del relè di area, mentre il setpoint è spento funzione di memoria di protezione.

4. Adotta la pompa per vuoto VRD16

Flusso di massa a 2 canali Sistema di fornitura gas contatore

1. Panoramica

1) Il gas esce dalla bombola, si depressurizza attraverso il riduttore di pressione, passa attraverso il tubo in PTFE fino all'ingresso del sistema di alimentazione del gas, quindi controlla il flusso di gas attraverso il flusso di massa metro, quindi passa attraverso il serbatoio di miscelazione del gas e quindi entra nel forno ingresso e il gas viene scaricato. La trachea esce, passa attraverso il valvola a tre vie, un'estremità è collegata alla pompa del vuoto e l'altra estremità lo è collegato all'uscita dell'aria.

2) Un manometro è collegato alla miscelazione del gas serbatoio, e sono installati il ​​disco indicatore del manometro e il flussometro di massa sullo stesso pannello.

3) Ciascuna linea del gas è dotata di una valvola di intercettazione dell'alta pressione per sicurezza.

4) Il percorso del gas adotta un galleggiante del gas ad alta precisione flussometro e la parte interna del percorso del gas adotta un tubo in PTFE, che ha buone caratteristiche resistenza alla corrosione.

5) Tutti i giunti sono collegati da ghiere, che hanno una buona tenuta all'aria e alta resistenza alla pressione.

2. Parametri tecnici:

Canale dell'aria: 2

Controllo del flusso pneumatico: regolatore del flusso di massa.

Interfaccia: Φ6

Display: LED

Temperatura dell'ambiente di lavoro: 5~45°C

Controller di flusso: controller di flusso di massa (vedi sotto per parametri tecnici dettagliati)

Tubo PTFE: Φ6 esterno XΦ4

Vacuometro pressione: -0.1ï½0.15 MPa, 0.01 MPa/divisione

Globo valvola: Φ6

3. La pressione interna del sistema di alimentazione del gas non dovrebbe essere troppo grande, altrimenti causerà facilmente perdite d'aria, purché il gas può fuoriuscire normalmente.

4. Configurazione del gas sistema di alimentazione:

1) Flussometro massico: 2

2) Manometro: 1

3) Valvola di intercettazione: 3

4) Attraverso il connettore della scheda: 3

5) Connettore valvola: 2

6) Giunti cilindro: 2

7) Tubo in teflon: 10M

8) Serbatoio di aerazione: 1

9) Griglia del forno: 1 set

Parametri tecnici del misuratore di portata di massa: regolatore di flusso di massa tipo comune, circuito analogico, guarnizione in gomma, shunt tubolare, non facile da bloccare.

indicatori principali:

Intervallo: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 SLM (è possibile scegliere l'intervallo arbitrariamente)

⢠Precisione: ±1,5% F.S

⢠Lineare: da ±0,5 a 1,5% F.S

⢠Ripetibilità: ±0,2% F.S

⢠Tempo di risposta: 10S

⢠Caduta di pressione dell'aria: <0,01 MPa

⢠Pressione massima: 3MP

⢠Ambiente di lavoro temperatura: 5ï½45°C

⢠Segnali di ingresso e uscita: 0~+5,00 V

⢠Alimentazione: +15V 50mA -15V 50mA

⢠Dimensioni: 158*30*110

1 Imballaggio standard esportato: protezione anticollisione interna, imballaggio esterno in scatola di legno per esportazione.

2 Spedizione espressa, aerea, marittima in base alle esigenze dei clienti per trovare il modo più adatto.

3 Responsabile del danno durante il processo di spedizione, cambierà gratuitamente la parte danneggiata.