Pompa a vuoto

(Olio richiesto) Pompa per vuoto rotativa

Velocità di pompaggio rotativo

50 Hz: 16 m3/h (4,4 L/s) / 60 Hz: 19,2 m3/h (5,2 L/s)

Velocità di pompaggio turbomolecolare

600 l/s

Limite di vuoto

5x10-4Pa

Corrente massima di evaporazione

100A

Pressione di esercizio

5x10-3Pa

Tempo di aspirazione

5 Minuti (2 Pa)

Misura del vuoto

Campo di misura dall'atmosfera a 1x10-5 pa

Dimensione della camera

(p250*300 mm (altezza) Vetro al quarzo resistente ai graffi

Fonte target evaporazione

Materiale target: barra di carbonio ((p5mm) / Origine target: barra di carbonio

Metodo operativo

Manuale di istruzioni