Nome e modello dell'apparecchiatura

Strumento di rivestimento magnetron al plasma VTC-2RF

Parametri pdi base

· Alimentazione: CA 220 V 50 HZ

· Potenza: <1800 W

RF palimentazione salimentazione

· Alimentazione in ingresso: 220 V 3 A

· Potenza in uscita: 0-300 W

· Frequenza di uscita: 13,56 MHZ

· Modalità di raffreddamento: la modalità di raffreddamento all'interno dell'apparecchiatura è il raffreddamento ad aria

· Dimensioni: 444 (L) *410 (L) *128 (A)

Teste sputter Magnetron

· Testa sputtering magnetron da 2 pollici (con strato intermedio raffreddato ad acqua), collegata alla camera a vuoto con giunzione rapida

· Requisiti dimensionali target: Ï50* (0,1-5) mm di spessore

· La testa sputtering magnetron da 2 pollici può sopportare la potenza RF massima: 300 W

· La testa sputtering magnetron da 2 pollici può sopportare la massima potenza CC: 500 W

Sputter cambrato

· Dimensioni della camera: diametro esterno Ï166* diametro interno Ï150* altezza 250 mm, realizzata in quarzo ad alta purezza

· Flangia di tenuta: diametro di 174 mmï¼in metallo alluminio, sigillato con anello di tenuta in gomma fluorurata

· Un deflettore azionato manualmente è installato sul coperchio della flangia per il pre-sputtering del target e un giunto a manicotto Ï6,35 è incluso sul e copriflangia per il collegamento del tubo di aspirazione.

Una rete di acciaio inossidabile copre l'intera camera di quarzo per proteggere il plasma

· Vuoto della camera: ï¼1,0Ã10-2 Torr (con pompa per vuoto rotativa bipolare a palette), ï¼5×10-5 Torr (vortex molecolare pump)

· Se è richiesto un vuoto più elevato, la camera del vuoto in acciaio inossidabile può essere personalizzata (il grado di vuoto può raggiungere 5*10-6 torr o meno)

· L'ingresso dell'aria nella cavità è un giunto a doppio manicotto in acciaio inossidabile da Φ6,35 mm, che può essere collegato alla bombola del gas tramite il tubo in PTFE e la dimensione dell'ingresso dell'aria è controllata da una valvola di microregolazione di precisione.

Il campione ssta

· Il tavolo dei campioni può essere ruotato (per una produzione di film più uniforme) e riscaldato

· Dimensioni del campione: diametro 50 mm (è possibile posizionare fino a 2 pollici di substrato)

· Velocità di rotazione: 1-10 giri/min (regolabile)

· La temperatura massima di riscaldamento del tavolo campione è 700 °C (uso a breve termine, la temperatura costante non supera 1 ora) e la temperatura di uso a lungo termine è 500 °C

· Precisione del controllo della temperatura: ±10â

Unità di visualizzazione del vuoto

· Modello vacuometro: ZDZ-52T

· Campo di misura: 1,0Ã105Pa~1,0Ã10-1Pa

· Intervallo effettivo: 3,0Ã103Pa~1,0Ã100Pa

· Tubo in silicone: ZJ-52T/KF16

· Dimensioni pannello: 96*96 mm

· La regolazione del vacuometro può misurare solo aria e azoto, mentre altre occasioni con una grande percentuale di componenti di gas devono essere corrette.

Sistema di aspirazione (opzionale)

· L'interfaccia del vuoto è l'interfaccia KF25

· Modello pompa a vuoto: VRD-16

· Velocità di pompaggio: 4,4 L/S

· Potenza motore: 750 W

· Pressione limite: 5Ã10-1Pa (senza carico)

Attrezzatura per il raffreddamento ad acqua (opzionale)

· Modello: KJ-5000

· Corrente di lavoro: 1,4-2,1 A

· Capacità di raffreddamento: 2361Btu/h

· Dimensioni: 55Ã28Ã43 cm (lunghezza à larghezza à altezza)

· Capacità serbatoio acqua: 6 litri

· Portata acqua: 16 l/min

Film tspessore gauge (opzionale)

· Sullo strumento è installato uno spessimetro vibrante di precisione al quarzo per monitorare lo spessore del film in tempo reale con una risoluzione di 0,10 A

· Display LED, ma anche inserimento dei dati relativi al film

Dimensione complessiva

Dimensioni dell'attrezzatura: L 550mm à P 550m à H 1100mm

Dimensioni focolare: L 600mmà P 600mà H 600mm

Peso

Circa 55 kg

Durata di conservazione

1 anno (escluse le parti soggette ad usura come gli anelli di tenuta)

Precauzioni

· La pressione dell'aria nella camera non deve essere superiore a 0,02 MPa (pressione relativa dell'aria);

· A causa dell'elevata pressione all'interno della bombola, è necessario installare una valvola riduttrice di pressione sulla bombola quando il gas viene iniettato nel tubo di quarzo. Per garantire la sicurezza, si consiglia di utilizzare una pressione inferiore a 0,02 MPa. Si consiglia di acquistare una valvola riduttrice di pressione dalla nostra azienda, il cui campo di misurazione è 0,01 MPa-0,1 MPa, che sarà più precisa e sicura durante l'uso.

· Per gli esperimenti di riscaldamento del campione, non è consigliabile chiudere la valvola di scarico e la valvola di aspirazione all'estremità flangiata del tubo del forno. Se è necessario chiudere la valvola dell'aria per riscaldare il campione, è necessario prestare sempre attenzione all'indicatore del manometro. Se l'indicatore di pressione è superiore a 0,02 MPa, la valvola di sfogo dell'aria deve essere aperta immediatamente per evitare incidenti (come rottura del tubo del forno, espulsione delle flange, ecc.).

· Si sconsiglia ai clienti l'uso di gas infiammabili, esplosivi e tossici. Se i clienti hanno realmente bisogno di utilizzare gas infiammabili, esplosivi e tossici per motivi tecnologici, si prega di adottare da soli le relative misure di protezione e antideflagranti. L'azienda non è responsabile per eventuali problemi causati dall'uso di gas infiammabili, esplosivi e tossici.