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Macchina per rivestimento sputtering

Basso vuoto

Sputtering del magnetron

900M(bersaglio singolo)

Sputtering al plasma

900 e 800(bersaglio singolo); SD-2000III(Tre bersagli)

Evaporazione termica

800C e 980 (corda in carbonio, senza testa bersaglio)

Sputtering Magnetron + evaporazione termica

900C(bersaglio singolo), l'altro caso è la corda in carbonio

Alto vuoto

Sputtering del magnetron

SD-650MH(CC+CC, CC+RF, RF+RF)

Evaporazione termica

SD-100AF (asta in carbonio per evaporazione del calore, barca in molibdeno, barra metallica in tungsteno)

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