Pompa a vuoto

(Olio richiesto) Pompa per vuoto rotativa

Velocità di pompaggio rotativo

50 Hz: 8 m3/h (2,2 L/s) / 60 Hz: 9,6 m3/h (2,6 L/s)

Limite di vuoto

2Pa

Corrente di sputtering massima

50mA

Pressione di esercizio

20 Pa-8 Pa

Tempo di aspirazione

<5 Min (2 Pa)

Misura del vuoto

Campo di misura dall'atmosfera a 2x10-2mbar

Controllo del gas

Regolatore del flusso di gas

Dimensione della camera

Vetro al quarzo resistente ai graffi Ï150 * 120 mm (altezza)

Origine di destinazione

Dimensione target Ï47 mm (Au x 0,1 mm, Ag*0,5 mm, Cu*0,5 mm)/Origine target: Au, Ag, Pt, Cu

Metodo operativo

Manuale di istruzioni

Peso/Dimensioni

52 kg / 390 mm di lunghezza x 340 mm di larghezza x 370 mm di altezza

Alimentazione

CA 110 V 60 Hz o CA 220 V 50 Hz

Consumo energetico

<1500W

Piattaforma campione rotante

Posizioni A B C

Garanzia

Garanzia limitata di un anno con supporto prodotto a vita