Set pompa a vuoto

Pompa a vuoto rotativa (olio richiesto) + set pompa turbomolecolare (senza olio)

Velocità di pompaggio rotativo

50 Hz: 16 m³/h (4,4 l/s) / 60 Hz: 19,2 m/h (5,2 l/s)

Velocità di pompaggio molecolare

300 l/s

Limite di vuoto

5x10^-5Pa

Pressione di esercizio

0,5-5 Pa

Tempo di aspirazione

10 minuti(10^-3Pa)

Misura del vuoto

Campo di misura dall'atmosfera a 10^-6Pa

Controllo del gas

Regolatore del flusso di gas

Dimensione della camera

Ï260*200mm (altezza) Metallo

Sorgente target Magnetron

Dimensioni target Ï50*3 mm (Cu) / Sorgente target: sostanza magnetica debole / Materiali

Metodo operativo

Manuale di istruzioni

Peso/Dimensioni

100 kg / 610 mm di lunghezza*420 mm di larghezza*490 mm di altezza

Alimentazione

CA 110 V 60 Hz o CA 220 V 50 Hz

Consumo energetico

<3000W

Metodo di raffreddamento

Raffreddamento ad aria (pompa) + raffreddamento ad acqua (bersaglio sputtering)

Garanzia

Garanzia limitata di un anno con supporto prodotto a vita