Rivestimento di rivestimento con magnetron ionico ad alto vuoto DC o RF utilizzato per realizzare celle solari in perovskite

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Dettagli del prodotto

Rivestitore di rivestimento con magnetron ionico ad alto vuoto DC o RF utilizzato per realizzare celle solari in perovskite

Introduzione

L'alto vuoto Il rivestimento a sputtering ionico Magnetron è ideale e progettato per la scienza dei materiali e la preparazione dei campioni. È ampiamente utilizzato nella maggior parte delle università e degli istituti di ricerca scientifica di scienza e ingegneria dei materiali per rivestire metalli, ceramica, semiconduttori, isolanti o altri tipi di preparazione del materiale della membrana.

Il rivestimento per sputtering ionico magnetron ad alto vuoto fornisce l'ambiente di sputtering più stabile e raggiunge le condizioni sperimentali di base dello sputtering magnetron in un periodo di tempo molto breve. Fornisce due tipi di opzioni di alimentazione DC/RF che consentono lo sputtering di sostanze conduttive o non conduttive sul campione e migliorano le prestazioni di deposizione fisica da vapore (PVD). È eccellente anche per il trattamento e il rivestimento delle superfici. È facile da usare e anche facile da usare.

Pompa per vuoto e refrigeratore inclusi.

Parametro

Vacuum pump set	(Oil richiesto) rotary vacuum pump+(oil gratuito) turbo moleculan pump set
Rotativo ppompaggio svelocità	50 Hz: 16 mÂ³/h (4,4 L/s)/ 60 Hz: 19,2mÂ³/h (5,2 L/s)
Molecolare ppompaggio spipì	300 l/s
Vuoto llimite	5x10-5Pa
Lavoro ppressione	0,5-5 Pa
Aspirazione time	10 minuti(10-3Pa)
Vuoto mdimensione	Intervallo di misura dall'atmosfera a 1*10Pa
Controllo gas	Gas fbasso cregolatore
Camera dimensionidimensioni	Ï260*200mm (altezza) metale
Magnetron tdestinazione sfonte	Dimensione target Ï 50*3mm(Cu)/tsorgente target: weak mmagnetico ssostanza /mmateriali
Operazione mmetodo	Manuale di istruzionil
Peso/dimensionedimensione	100 kg/610 mm di lunghezza x 420 mm di larghezza x 490 mm di altezza
Alimentazione salimentazione	CA 110 V 60 Hz o CA 220 V 50 Hz
Potenza cconsumo	<3000W
Raffreddamento mmetodo	Aria craffreddamento(pump)+ water craffreddamento(sputtering tobiettivo)
Garanzia	Garanzia limitata di un anno con supporto del prodotto a vitat