Forno CVD 1600C con sistema di alimentazione del gas e sistema di vuoto

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TMAX-1600PECVD
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Dettagli del prodotto

Forno PECVD 1600C con sistema di alimentazione del gas e sistema di vuoto

Il Il sistema PECVD è costituito da un forno tubolare, una camera a vuoto al quarzo, un vuoto sistema di alimentazione del gas e un sistema di alimentazione a radiofrequenza. Principalmente utilizzato per: crescita di film sottili metallici, film sottili ceramici, film sottili compositi, grafene, ecc. È facile aggiungere funzioni e può espandere funzioni come pulizia e incisione al plasma. Il sistema PECVD presenta i vantaggi dell'alto film tasso di deposizione, buona uniformità, elevata consistenza e stabilità.

Tecnica dettagliata parametri

Modello

TL1600-I

Potenza

5KW

Dimensioni del tuboï¼ODï¼(mm)

Tubo in corindone di elevata purezza: 60 mm (diametro del tubo)

Su ciascun lato sono posizionate due prese del forno. IL il tappo del forno può bloccare la radiazione termica al centro del tubo del forno e deve essere posizionato nella posizione corretta nel forno prima del riscaldamento.

Dimensione

1120X490X855

tensione di alimentazione

220 V

fase

monofase

elemento riscaldante

Barra di silicio-molibdeno modello 1800

Tipo di controllo della temperatura

Utilizzare Strumento di controllo della temperatura del programma Yudian (standard)

1. Controllo della temperatura del programma a 30 segmenti Regolazione PID intelligente.

2. Con la protezione da sovratemperatura, il circuito di riscaldamento del forno elettrico lo farà essere interrotto automaticamente quando la temperatura è eccessiva o quando il la coppia è rotta. ON, la spia ON sul pannello è spenta, la spia OFF è accesa, e il forno elettrico è protetto in modo limitato).

3. Con interfaccia di comunicazione 485 (standard con software opzionale)

4. Ha una funzione di protezione in caso di interruzione di corrente, cioè quando il forno è acceso acceso dopo lo spegnimento, il programma non si avvia da temperatura iniziale, ma inizia dalla temperatura del forno quando si accende è spento.

5.Il il misuratore ha la funzione di autoregolazione della temperatura

(è necessario pagare un extra per la sostituzione dei file importati strumenti, opzionali)

Strumento FP93 Strumento EUROTHERM Touch screen strumento

(shimaden, Giappone)

Materiale della camera

1. Il materiale del focolare è di alta qualità fibra policristallina di allumina.

2. La superficie del forno interno è rivestita con rivestimento in allumina ad alta temperatura importato da 1800 gradi, che può aumentare il emissività e rendere il campo di temperatura più equilibrato.

Valvole e flange

precisione del controllo

+/- 1â

attivatore

Trigger sfasato

apparecchio elettrico

Zhejiang cinese

controllato dal silicio

106/16E SEMICRONE

Massimo. temperatura

1600°C

Temperatura nominale

1550â

velocità di riscaldamento

â¤20â/Min(può essere modificato secondo necessità)

Tasso di riscaldamento consigliato

â¤10 â/Min

Modello termocoppia

Tipo B

Lunghezza della sezione riscaldante

300mm

Temperatura superficiale ambiente

â¤45â

Sistema di aspirazione

VS-0.1 sistema di vuoto

VS-0.1 il sistema del vuoto può portare il grado di vuoto nel tubo del forno a 0,1 Pa (e dotato di vacuometro a resistenza visualizzazione).

Con LED verde display digitale sullo schermo.

Adotta Pompa per vuoto VRD16

VRD16	Termine tecnico		Specifica
VRD-16	Velocità di pompaggiomÂ³/hï¼L/sï¼	50Hz	16 mÂ³/h
			4,4 l/s
		60Hz	19,2 mÂ³/h
			5,2 l/s
	Limita pressione parziale - senza gas ballastï¼Paï¼		4x10-2
	Limitare la pressione totale - senza gas ballastï¼Paï¼		4x10-1
	Limitazione della pressione totale - gas ballastï¼Paï¼		8x10-1
	alimentazione		Monofase/trifase
	potenza motoreï¼KWï¼		0,75KW/0,55KW
	Connessione ingresso/uscitaDN		KF25
	capacità olio		0,9-1,5 L
	velocità del motoreï¼rpmï¼	50Hz	1440 giri/min

Sistema di fornitura del gas

Gas sistema di alimentazione del gas con flussometro

Parametri tecnici:

l Canale pneumatico: 6

l Controllo del flusso pneumatico: utilizzare un flussometro di massa.

l Dimensioni del mobile: 600X600X600mm

l Con display LED

l Parametri tecnici del misuratore di portata massica:

Interfaccia	Î¦6
Visualizza	LED
Lavoro temperatura ambiente	5~45°C
Flusso controllore	Protone viene utilizzato il regolatore di flusso, vedere il retro
Inossidabile tubo d'acciaio	Î¦6 esterno XÎ¦4 interno
Pressione tavolo aspirante	-0,1ï½0,15 MPa, 0,01 MPa/div
Fermati valvola	Î¦6
Flusso controllo	PLC controllo intelligente

Tecnico parametri del controller del flusso di massa:

Prodotto descrizione: Tipo comune, circuito analogico

Prodotto descrizione dettagliata: Tipo ordinario, circuito analogico, guarnizione in gomma, tubolare shunt, non facile da bloccare.

Principale indicatori:

Intervallo	5, 10, 20, 30, 50, 100, 200SCCM(è possibile scegliere qualsiasi intervallo) Confermare quando effettui l'ordine
Precisione	±1% F.S
Lineare	0,5% F.S
Ripetibilità	±0,2% F.S
Risposta tempo	1S
Aria caduta di pressione	<0,01 MPa
Massimo pressione	3MP
Lavoro temperatura ambiente	5ï½45â
Ingresso e segnale di uscita	0ï½+5,00 V
Potenza fornitura	+15 V 50 mA -15 V 50 mA
Dimensioni	15830110
Peso	0,9 Kg

Configurazione del sistema di fornitura del gas:

Protone flussometro	6
Meccanico manometro (intervallo -0,1~0,15MPa)	1
Inossidabile valvole a globo in acciaio	6
Inossidabile connettori passanti in acciaio	6
Inossidabile giunti valvola in acciaio	2
inossidabile connettore cilindro in acciaio	6
PTFE tubo	30M
Diametro80X140MM serbatoio di miscelazione gas	1
Cornice del forno	1 set

Generatori RF / RF Alimentatori

Principali parametri tecnici dell'alimentatore RF:

Intervallo di potenza in uscita	0-500 W
Massimo riflesso potenza	200 W
frequenza di lavoro	RF: 13,56MHZ±0,005%
Stabilità della potenza	+/-0,1%
Componente armonica	â¤-50dbc
Larghezza regione Rf	0-600mm regolabile
Modo di corrispondenza	automatico
Modalità raffreddamento	Punti freddi
Rumore	<50 dB
Radio interfaccia di frequenza	50Î© Tipo N
Potenza in ingresso	208-240 V 50/60 HZ

Garanzia

Un anno di garanzia e durata supporto tecnico

Nota speciale:

1. Parti di consumo come gli elementi riscaldanti, i tubi del forno, i crogioli dei campioni, ecc. non si trovano all'interno periodo di garanzia.

2. Danni causati dall'uso di il gas corrosivo e il gas acido non sono coperti dalla garanzia.

Precauzioni

1. La pressione dell'aria nel il tubo del forno non deve essere superiore a 0,02 MPa

2. A causa dell'aria alta pressione all'interno della bombola del gas, è necessario installare una valvola limitatrice di pressione la bombola del gas quando il gas viene introdotto nel tubo del forno. Per garantire sicurezza, si consiglia di utilizzare una pressione inferiore a 0,02 MPa

3. Quando viene utilizzato il tubo del forno è un tubo di corindone, quando la temperatura del corpo del forno è superiore a 1500 ℃, il tubo del forno non deve essere in uno stato di vuoto, e la pressione dell'aria nel tubo del forno dovrebbe essere uguale a quella atmosferica pressione.

4. Il flusso di gas nel il tubo del forno deve essere inferiore a 200 SCCM per evitare l'impatto del freddo flusso d'aria sul tubo del forno caldo

5. Per il riscaldamento del campione esperimento, non è consigliabile chiudere la valvola di scarico e la valvola di ingresso l'estremità della flangia del tubo del forno. Se è necessario chiudere la valvola del gas per riscaldare il campione, è necessario prestare sempre attenzione all'indicazione del manometro. Se la pressione è superiore a 0,02 MPa, è necessario aprire immediatamente lo scarico valvola per prevenire incidenti (come rottura del tubo del forno, flangia che vola fuori, ecc.).

6. Non utilizzare grafite crogioli in tubi di allumina.

7. Elemento riscaldante MoSi2 non deve essere utilizzato a basse temperature (400°C-700°C) per lungo tempo, altrimenti potrebbe danneggiare l'elemento riscaldante.

Tmax CE

TMAX Partner

CVD furnace

tube furnace

muffle furnace

1 Imballaggio standard esportato: protezione anticollisione interna, imballaggio esterno in scatola di legno per esportazione.

2 Spedizione espressa, aerea, marittima in base alle esigenze dei clienti per trovare il modo più adatto.

3 Responsabile del danno durante il processo di spedizione, cambierà gratuitamente la parte danneggiata.

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