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Forno CVD

Sistema CVD da laboratorio con forno tubolare rotativo a doppia zona 1500-1500C

Sistema CVD da laboratorio con forno tubolare rotativo a doppia zona 1500-1500C

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  • Articolo n.:

    TMAX-1500-1500CVD
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Dettagli del prodotto

Sistema CVD da laboratorio con forno tubolare rotativo a doppia zona 1500-1500C




Il sistema CVD è costituito da un sistema di alimentazione del gas + forno tubolare + sistema di vuoto e la temperatura massima può raggiungere 1200 gradi, 1400 gradi, 1600 gradi e 1700 gradi. La zona di riscaldamento può essere una zona a temperatura singola, una zona a doppia temperatura, una zona a tre temperature, ecc. Il vuoto finale può raggiungere 10-3Pa. Il sistema di alimentazione del gas può essere un flussometro massico o un flussometro a galleggiante per la regolazione del flusso. Il numero di canali di mixaggio può essere 2 canali, 3 canali, 4 canali e 5 canali.


Parametri tecnici dettagliati

Modello

1500-1500-I 1500-1500-II

Potenza

9KW 9KW

Tubo dimensione

Dia 60 (DE) X1400 mm Diametro 80 (DE) X1400 mm

Fornitura tensione

380 V 380 V

Fase

doppia fase doppia fase

Tubo

Tubo di corindone: AIO ad alta purezza ceramica (inclusa) 99,5%

Riscaldamento elemento

Prima zona di temperatura: barra di carbonio e silicio Seconda zona di temperatura: barra di carbonio e silicio

Velocità di rotazione del tubo del forno

Con motore a velocità variabile continua, la velocità può essere regolata tra (1-25 giri/min)

Potenza motore

40 W

Il forno può essere inclinato ad angolo

0-30 gradi

Tipo di guida

Cinghia dentata e ingranaggio

Controllo modalità

Strumento di controllo della temperatura del programma UAV (standard)

1 programma di controllo della temperatura a 30 fasi regolazione PID intelligente.

2. Con protezione da sovratemperatura, l'elettrico Il circuito di riscaldamento del forno viene automaticamente interrotto quando la temperatura scende sovratemperatura o rottura (quando la temperatura del forno elettrico supera 1520 gradi o la termocoppia è bruciata, il relè CA sul circuito principale verrà disconnesso automaticamente, il circuito principale è interrotto. Su, l'ON la spia sul pannello è spenta, la spia OFF è accesa e la protezione è limitata forno elettrico).

3, con interfaccia di comunicazione 485 (standard al momento dell'acquisto del software)

4, con funzione di protezione dallo spegnimento, quello è, quando l'alimentazione viene accesa dopo che l'alimentazione è stata spenta, il programma non parte dalla temperatura iniziale, ma dalla temperatura del forno aumenta dal momento dell'interruzione di corrente.

5, il misuratore ha la funzione di autoregolazione della temperatura

(è necessario pagare un extra per la sostituzione di strumenti importati, facoltativo)

Strumento FP93 Strumento EUROTHERM Touch screen strumento

(shimaden, Giappone)

Materiale del forno


1. Allumina policristallina di elevata purezza e di alta qualità Forno per il trattamento delle fibre formato mediante filtrazione sotto vuoto.

2. Adotta la tecnologia giapponese per lo stampaggio.

Controllo precisione

+/- 1â

Attiva

Sfasato grilletto

Elettrico apparecchio

Zhejiang cinto

Silicio controllato

106/16ESEMIKRON

IL temperatura più alta nella prima e nella seconda zona di temperatura

1500â

Valutato temperatura nella prima e nella seconda zona di temperatura

1400â

Riscaldamento tasso

â¤20â/Min(può essere modificato secondo necessità)

Consigliato velocità di aumento della temperatura

â¤10â/Min

Termocoppia

S digitando il primo zona di temperatura

S digitare la seconda regione di temperatura

Lunghezza della sezione di riscaldamento nella prima e nella seconda zona di temperatura

300+300mm 300+300mm

Lunghezza temperatura costante

450 mm 450 mm



Alimentazione aria Gx-3 a tre canali (miscelata aria) sistema

1.1. Il gas esce dal cilindro, è depressurizzato attraverso un riduttore di pressione, passa attraverso il tubo in PTFE all'ingresso del sistema di alimentazione del gas e quindi passa attraverso il flusso di massa contatore per controllare il flusso di gas, quindi passa attraverso il serbatoio di miscelazione del gas e quindi entra nell'ingresso del forno.

1.2. Un manometro è collegato al serbatoio di miscelazione del gas e al manometro sullo stesso sono installati il ​​disco display e il controller del flussometro protonico pannello.

1.3. Ogni linea del gas è dotata di una valvola di intercettazione dell'alta pressione per motivi di sicurezza.

1.4. Il percorso del gas adotta un misuratore di portata massica del gas ad alta precisione e l'interno del il percorso del gas è interamente realizzato in tubo di acciaio inossidabile, che ha una buona corrosione resistenza.

1.5. Tutti i giunti nella scatola sono collegati da puntali in acciaio inossidabile, che hanno buona tenuta all'aria e resistenza all'alta pressione.

2. Parametri tecnici:

Canale pneumatico: 3

Controllo del flusso di gas: flussometro di massa.

Dimensioni armadio: 600X600X600mm

Misuratore di portata massico parametri tecnici:

Interfaccia: Φ6

Visualizzazione: LED

Temperatura dell'ambiente di lavoro: 5~45°C

Regolatore di flusso: Parametri del controller del flusso di protoni Ricontrolla

Tubo in acciaio inox: Φ6 esterno X Φ4

Pressione vuoto tabella: -0,1ï½0,15 MPa, 0,01 MPa/divisione

Valvola di arresto: Φ6

Controllo del flusso: PLC controllo intelligente

3. Misuratore di portata massico parametri tecnici:

Prodotto Nome: controller del flusso di massa

Prodotto Descrizione: Tipo normale, circuito analogico

Prodotto dettagli: circuito ordinario, analogico, guarnizione in gomma, shunt tubolare, non facile da usare blocco.

Principale indicatori: Intervallo: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 SLM (è possibile scegliere l'intervallo arbitrariamente)

⢠Precisione: ±1% F.S

⢠Lineare: 0,5% F.S

⢠Ripetibilità: ±0,2% F.S

⢠Tempo di risposta: 1S

⢠Caduta di pressione dell'aria: <0,01 MPa

⢠Pressione massima: 3MP

⢠Temperatura dell'ambiente di lavoro: 5ï½45°C

⢠Segnali di ingresso e uscita: 0~+5,00 V

⢠Potenza: +15V 50mA -15V 50mA

⢠Dimensioni: 158*30*110

⢠Peso: 0,9 Kg

4. Configurazione del gas sistema di fornitura:

1. Flussometro di protoni: 3

2. Manometro meccanico (intervallo -0,1~0,15MPa): 1

3. Valvola di intercettazione in acciaio inossidabile: 4

4. Giunti in lamiera di acciaio inox: 4

5. Connettore valvola in acciaio inossidabile: 2

6. Connettore cilindro in acciaio inossidabile: 3

7. Tubo in PTFE: 15M

8. Serbatoio di miscelazione Dia80X140MM: 1

9. Griglia del forno: 1 set


Sistema ad alto vuoto VS

Unità pompa molecolare

(Opzione 1 o opzione

2)


Tensione in ingresso dell'unità

380V/220V

Soffietto

KF40X1000

Valvola deflettore del vuoto

KF40

Dimensioni

600X600X600

pompa molecolare

(Opzione 1)

Modello

FJ620

tensione di ingresso

380V

Flangia di aspirazione

DN160

Tasso di pompaggio L/S (all'aria)

600

pressione finaleï¼Pa)

6Ã10-7

tipo di raffreddamento

raffreddamento ad acqua

pressione dell'acqua di raffreddamentoï¼MPaï¼

0,1-0,2

temperatura dell'acqua di raffreddamento

<25â

temperatura ambiente

0~40°C

Pressione iniziale consigliata

<100pa

Pompa per vuoto stadio anteriore TRP-24 della pompa molecolare

(La pompa molecolare FJ620 deve essere equipaggiato con la pompa precedente)

(Opzione 2

åç

0,75KW

çμå

380V

转é

1450 giri/min

· Diametro ingresso

KF25/KF40

Tasso di pompaggio del motore anterioreï¼L/Sï¼

6

Pressione massima

4X10 -2Pa

Pompa per vuoto Pfeiffer tedesca

(Opzione 2)

tensione

220V

potenza

110W

Interfaccia di estrazione

KF40

peso

150KG

Velocità di pompaggio del motore anteriore

0,9 m 3/h

velocità di pompaggioï¼N2ï¼

33L/S

vuotometri compositi

modello

ZDF

alimentazione

220 V 55 W

precisione di controllo

± 1%

Campo di misura del vacuometro

10-5 -10 5 Pa

PECVD




Tmax CE

TMAX Partner

CVD furnace


tube furnace


muffle furnace



1 Imballaggio standard esportato: protezione anticollisione interna, imballaggio esterno in scatola di legno per esportazione.

2 Spedizione espressa, aerea, marittima in base alle esigenze dei clienti per trovare il modo più adatto.

3 Responsabile del danno durante il processo di spedizione, cambierà gratuitamente la parte danneggiata.



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